单多晶硅（微粉）废水处理技术

单/多晶硅（微粉）生产废水主要来自单/多晶硅的铸造、硅片切割及硅材料的清洗等工段所产生的废液。该废水悬浮物和氟化物浓度高、可生化性效果差（COD≤3000mg/L、氟化物≤1000mg/L、SS≤8000mg/L），采用常规工艺处理难度大。应用本系统处理后的出水水质可达到现行国家《污水综合排放标准》GB8978-1996中规定的一级排放要求（COD≤60mg/L、BOD≤20mg/L、氨氮≤5mg/L、SS≤20mg/L、色度≤50稀释倍数、氟化物≤10mg/L）。

工艺流程图

工艺说明

各生产车间外排废水（酸水和碱水分流）由管网经格栅排渣后进入初沉池，静沉去除大部分浮渣与大颗粒污染物后进入调节池，调节pH后提升至气能絮凝池，投加絮凝剂进一步去除水中悬浮物，出水进入除氟装置，通过投加专用活性吸附剂去除水中高浓度的氟化物。接着进入EGSB反应器进行生化处理，利用兼性及专性厌氧菌降解污水中COD，并将大分子有机物分解为小分子化合物以改善其可生化性，出水进入接触氧化池，通过负载于填料上生物膜的作用，进一步去除水中COD等有机污染物，经由中间水池进行固液分离后上清液水质达标外排，或进入生物滤塔深度处理后回用。
气能絮凝池的浮渣、初沉池、EGSB反应器及中间水池的污泥进入污泥池，浓缩并经压滤机脱水后外运。